Metoda produkcji mikroproszku krzemowego

Najpierw metoda trichlorosilanu dodaje suchy proszek krzemu do pieca syntezowego i poddaje reakcji chlorowania z wprowadzonym suchym gazem chlorowodoru w obecności katalizatora chlorku miedzi(I) w temperaturze {{0}} stopnia. Gaz reakcyjny jest oddzielany przez cyklon w celu usunięcia zanieczyszczeń, a następnie gazowy trichlorosilan jest skraplany do cieczy przy użyciu zamrożonej wody morskiej z chlorkiem wapnia. Jest on destylowany i skraplany w surowej wieży destylacyjnej w celu usunięcia substancji o wysokiej i niskiej temperaturze wrzenia, a następnie destylowany i skraplany w wieży destylacyjnej w celu uzyskania rafinowanego płynu trichlorosilanu. Czystość powinna osiągnąć 7 lub więcej „9”, zawartość zanieczyszczeń powinna być mniejsza niż 1 × 10-7, a zapotrzebowanie na bor powinno być poniżej 0,5 × 10-9. Oczyszczony trichlorosilan jest wysyłany do pieca redukcyjnego ze stali nierdzewnej, w którym ultraczysty gaz wodorowy jest używany jako środek redukujący w celu zredukowania go do krzemu w temperaturze 1050-1100 stopnia. Pręt z rdzeniem krzemowym służy jako nośnik do osadzania polikrystalicznych produktów krzemowych.

Po drugie, wymieszaj krzemionkę z zawartością SiO2 wynoszącą około 95% i koks z niską zawartością popiołu, podgrzej do około 1900 stopni w celu redukcji. Czystość krzemu wytwarzanego tą metodą wynosi 97%~98%, co nazywa się krzemem metalicznym. Po stopieniu krzemu metalicznego poddaje się go rekrystalizacji, a zanieczyszczenia usuwa się kwasem, aby uzyskać krzem metaliczny o czystości 99,7%~99,8%. Aby uzyskać krzem półprzewodnikowy, konieczne jest przekształcenie go w postać ciekłą lub gazową, którą łatwo oczyścić, a następnie uzyskanie krzemu polikrystalicznego poprzez procesy destylacji i rozkładu. Aby uzyskać krzem o wysokiej czystości, wymagana jest dalsza obróbka oczyszczająca.

Po trzecie, wymieszaj krzemionkę o zawartości SiO2 wynoszącej około 95% z koksem o niskiej zawartości popiołu, a następnie użyj pieca łukowego o mocy 1000-3000 kVA, aby nagrzać go do temperatury około 1900 stopni w celu redukcji.